عنوان
طراحي و ساخت نمونه آزمايشگاهي نانو سنسور اندازه گيري ضخامت
نويسنده اصلي
محمد علي رضوي خواه
مقطع تحصيلي
كارشناسي ارشد
چكيده
امروزه براي ضخامت سنجي سطوح نيازمند ابزاري با قابليت حمل اسان و با هزينه هاي ضخامت سنجي بسيار ارزان هستيم به طوري كه بدون تخريب سطوح بتواند با دقت بالايي ضخامت سنجي كند. در اين تحقيق تلاش شده است تا مراحل طراحي و ساخت ضخامت سنجي با اين ويژگي ها ارائه شود.
دراين تحقيق هندسه و جنس مواد به كار رفته در ضخامت سنج توسط شبيه سازي كامسول بهينه شده است و در نهايت با استفاده از مدل هاي عملي نتايج شبيه سازي شده اعتبار سنجي شده است. همچنين با استفاده از نمونه ساخته شده آزمايشگاهي، علاوه بر تاييد نتايج فوق، تاثير به كارگيري نانو لوله كربني در بهبود كيفيت ضخامت سنج بررسي ميشود. با كمك شبيه سازي مشخص شد كه بهترين هندسه براي الكرود ها، هندسه مكعب مستطيل ميباشد و به ميزاني كه ضخامت الكترود ها كاهش ميابد ميزان خطي شدن پاسخ ضخامت سنج بهبود ميابد. همچنين بيان شد كه ضريب دي الكتريك مواد عايق و زير لايه نقش مهمي در بهبود دقت ضخامت سنج دارد. نتايج حاصل خطايي كمتر از يك درصد با نمونه هاي تحليلي كه در منايع موجود است دارد. همچنين پيش بيني ميشود كه استفاده از نانو لوله هاي كربني با 2 تا 6 ديوار كه توسط گروه كريوكسيل عاملدار شده است ميتواند دقت ضخامت سنج را چندين برابر بهبود دهد.
شماره ركورد
196583
دانشگاه
دانشگاه علم و صنعت ايران
رشته تحصيلي
مهندسي فناوري نوين
استاد راهنما
دكتر صادق صادق زاده