بررسي مورفولوژي و ساختار لايه‌هاي نيتريد مس انباشت شده به روش مگنترون اسپاترينگ فعال

كارشناسي ارشد

در اين پژوهش، لايه نازك مس نيترايد با دستگاه كندوپاش مغناطيسي بر روي زير لايه شيشه و بدون استفاده از گاز آرگون تحت تاثير ولتاژ باياس‌هاي مختلف0، 50، 150و250 ولت لايه نشاني شد. سپس ساختار و خواص اپتيكي نمونه‌ها با استفاده از آناليزهاي XRD، AFM، SEM، UVو PL مورد بررسي قرار گرفت. نتايج حاصل از پراش پرتوي ايكس نشان مي‌دهد ساختار كريستالي مس نيترايد با جهت‌گيري صفحات (100) و (200) تشكيل شده است كه ولتاژ باياس 150 ولت بهترين ساختار كريستالي را در بين ولتاژ باياس هاي مورد بررسي در اين پژوهش دارد و ولتاژ باياس 250 ولت نامنظم‌ترين ساختاركريستالي را داراست كه اين ساختار به آمورف نزديك شده است، همچنين اندازه ذرات با افزايش ولتاژ باياس ازnm 36 به nm 19 كاهش مي‌يابد. تصاوير AFM و SEM نشان مي‌دهد كه سطح لايه‌ها با افزايش ولتاژ باياس يكنواخت‌تر مي‌شوند و ضخامت لايه‌ها از nm732 به nm 324 كاهش مي‌يابد. اطلاعات حاصل از آناليز UV و PL نشان مي‌دهد با افزايش ولتاژ باياس گاف نوري محاسبه شده از معادله تائوس از 0.71 نانومتر به 1.42 نانومتر تغيير مي‌كند و انرژي فوتون توليد شده حاصل از فوتولومينسانس نيز افزايش مي‌يابد.

195815

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر مسعود هاشمي نياسري

فيزيك حالت جامد

دكتر محمد رضا زماني ميميان