بررسي و تهيه لايه هاي اكسيد روي دوپ شده با مواد نانوساختار به روش كندوپاش مغناطيسي

كارشناسي ارشد

در اين پژوهش لايه‌هاي اكسيد روي آلاييده با مس و موليبدن بر روي زيرلايه كوارتز به روش كندوپاش مغناطيسي همزمان (co-sputtering) انباشت شدند. الگوي پراش اشعه ايكس (XRD)، شبكه هگزاگونال اكسيد روي و جهت‌گيري كريستالي در راستاي (002) را نشان مي‌دهد و همچنين طيف‌سنجي پراش انرژي پرتو ايكس (EDS) حضور Mo و Cu به عنوان ناخالصي در شبكه ميزبان را تأييد مي‌كند. لايه‌هاي مورد نظر در دماهاي 100 ، 200، 400 و 800 درجه سانتيگراد هر كدام به مدت 90 دقيقه مورد بازپخت قرار گرفتند و تأثير دماي بازپخت بر روي مورفولوژي سطح ، خواص الكتريكي و اپتيكي لايه‌ها مورد بررسي قرار گرفت. نتايج اندازه‌گيري مقاومت الكتريكي به كمك پروب چهارنقطه‌اي (4-Point) نشان مي‌دهد كه مقدار مقاومت الكتريكي نمونه‌ها پس از بازپخت افزايش مي‌يابد. مورفولوژي سطح و ضخامت لايه‌ها توسط آناليز ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM) مورد بررسي قرارگرفت. به كمك داده‌هاي آناليز AFM طول همبستگي و ارتفاع مؤثر ناهمواري‌هاي سطح لايه‌ها محاسبه شد و نتايج نشان مي‌دهد كه با بازپخت نمونه‌ها ارتفاع مؤثر ناهمواري‌هاي سطح افزايش مي‌يابد. همچنين با اندازه‌گيري طيف جذبي لايه‌ها به كمك طيف‌سنجي فرابنفش- مرئي (UV-Vis)، گاف انرژي اكسيد روي آلاييده در بازه 10/3 تا 24/3 الكترون ولت اندازه‌گيري شد. واژه‌هاي كليدي: كندوپاش مغناطيسي، اكسيد روي، ناخالصي، بازپخت.

191269

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر محسن بابامرادي

فيزيك حالت جامد

دكتر محمدرضا زماني ميميان