بررسي صافي سطح مواد با استفاده از تداخل سنج فيزو

كارشناسي ارشد

توپوگرافي سطح، عبارت است از تشخيص انحراف¬هاي موضعي سطح نمونه نسبت به يك سطح كاملاً صاف. طي چند دهه گذشته، با پيشرفت تكنولوژي¬هاي جديد مانند كامپيوترهاي سريع و ابزارهاي حالت جامد و نياز به بررسي دقيق سطوح بسيار كوچك موردنياز در مهندسي، زمينه اندازه¬گيري توپوگرافي سطح در هر دو مورد تكنولوژي مذكور و دامنه كاربرد آن توسعه يافته است. ابزارهاي اندازه¬گيري توپوگرافي سطح، به¬طور¬كلي در دو دسته اپتيكي و غير اپتيكي قرار مي¬گيرند. ابزارهاي غيراپتيكي در تماس مستقيم با سطح نمونه، ناهمواري¬هاي سطح را اندازه¬گيري مي¬كنند. درحالي كه ابزارهاي اپتيكي، در حالت غيرتماسي فرايند اندازه¬گيري را انجام مي¬دهند. ويژگي غير تماسي بودن ابزارهاي اپتيكي از آسيب رساني به سطح نمونه جلوگيري مي¬كند. يكي از ابزارهاي اپتيكي براي اندازه¬گيري ناهمواري سطح، تداخل¬سنج است. استفاده از تداخل‌سنج به‌عنوان وسيله‌اي براي اندازه‌گيري توپوگرافي سطح، نيازمند استفاده از يك چيدمان تداخل‌سنجي، به كار بردن يك تكنيك تحليل، تفسير نقش تداخلي و تبديل اطلاعات موجود در آن‌ها به‌منظور بازسازي شكل سطح نمونه است. يكي از چيدمان‌هاي موجود و پركاربرد، تداخل‌سنج فيزو است. اين تداخل‌سنج، براي به دست آوردن ميدان بزرگ‌تري از سطح نمونه كاربرد دارد. در اين پايان¬نامه، با استفاده از نرم¬افزار زيمكس، سطوح تست مشخصي، مورد بررسي قرار گرفت. براي بررسي اين سطوح، جبهه موج¬هاي حاصل از بازتاب نور از سطح تست و سطح مرجع صاف ايده¬آل در چيدمان تداخل سنج فيزو با تكنيك تغيير فاز مورد ارزيابي قرار گرفت. در نتيجه تحقيق انجام شده، با استفاده از تكنيك تغيير فاز سطوح تست پله¬اي با دقت بيشتري نسبت به سطوح داراي انحناء اندازه¬گيري مي¬شوند. در سطوح داراي انحناء، با افزايش شعاع انحناء دقت اندازه-گيري كاهش مي¬يابد. البته اين نتايج براي سطوح بررسي شده در نرم¬افزار زيمكس برقرار است، و در صورتي كه از نرم¬افزار ديگري براي شبيه¬سازي استفاده شود يا به صورت عملي بررسي¬ها انجام پذيرد، ممكن است نتايج ديگري حاصل شود. واژه‌هاي كليدي: توپوگرافي سطح، تداخل¬سنج، فيزو، زيمكس، تداخل سنجي تغيير فاز

189738

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر سيد محمد ميركاظمي

فوتونيك

دكتر فاطمه دباغ كاشاني