مطالعه تجربي ريزساختار و انعكاس سيليكن تابشدهي شده توسط ليزر تپي پرتوان در محيط هوا و آب مقطر

دكتري

چكيده سطح صيقلي سيليكن توسط پرتو ليزر تك تپي نانوثانيه و پيكوثانيه و همچنين پرتو ليزر دو تپي نانوثانيه تابشدهي شد. سطح غيرصيقلي سيليكن نيز تحت تابش پرتو ليزر تك تپي نانوثانيه قرار گرفت. تابشدهي سيليكن در محيط¬هاي هوا و آب مقطر انجام شد. در شرايط آزمايشگاهي اين پايان¬نامه، ريزساختارهاي نانويي و ميكروني در سطح سيليكن ايجاد شدند. توزيع قطر موثر و چگالي سطحي ساختارها و همچنين انعكاس نوري سيليكن تابشدهي شده در شرايط تابشدهي مختلف برحسب تعداد تپ هاي ليزر و در شارهاي مختلف تخمين زده شد. نتايج نشان مي¬دهند كه هر دو پارامتر تعداد تپ¬ها و شار ليزر هندسه و چگالي سطحي ساختارها و همچنين انعكاس نوري سطح را تحت تاثير قرار مي¬دهند. مقايسه نتايج تابشدهي سيليكن صيقلي و غيرصيقلي نشان مي¬دهد كه چگالي سطحي ساختارها و انعكاس نوري سطح به نوع هدف نيز بستگي دارد. در اين پايان¬نامه، اثر پيش تپ ليزر نانوثانيه با فاصله زماني¬هاي مختلف تپ اصلي نسبت به پيش تپ بر ساختار و انعكاس سيليكن نيز مورد مطالعه قرار گرفت. نتايج نشان مي¬دهند كه ساختارهاي توليد شده با پرتو ليزر دوتپي و با تاخير زماني از مرتبه طول تپ ليزر نسبت به ساختارهاي توليد شده با پرتو ليزر تك تپي بزرگتر هستند. انعكاس سطح داراي چنين ساختارهايي با ارتفاع بلند بطور قابل توجهي كاهش مي¬يابد. كلمات كليدي: ريزساختار- ليزر- سيليكن- انعكاس

188873

دانشگاه علم و صنعت ايران

فيزيك

دكتر محمد حسين مهديه