مطالعه تجربي ايجاد نانوساختارها برروي سطح سيليكون زبر با استفاده ازپرتو ليزر پالسي در محيط آب

كارشناسي ارشد

چكيده در اين تحقيق نانوساختارهاي توليد شده روي هدف سيليكون زبر با استفاده از ليزر پالسي Nd:YAG بررسي شده است. تابش‌دهي در محيط آب مقطر صورت گرفته و تصاوير محل هاي تابش دهي شده با استفاده از ميكروسكوپ روبشي الكتروني (SEM) برداشته شده است. نتايج با استفاده از آناليز تصاوير مورد مطالعه قرارگرفته است. همچنين انعكاس محل هاي مورد تابش ليزر پر توان، قبل و بعد از تابش دهي توسط يك ليزركم توان He:Ne بررسي شده است. نتايج نشان مي‌دهد كه خوشه‌هاي نانو ساختار در نواحي تابش‌ دهي شده شكل مي‌گيرند. خوشه‌هاي نانوساختار از نظر چگالي سطحي و اندازه به خصوصيات ليزر نظير تعداد پالس و شار انرژي وابسته است. بررسي ها نشان مي دهندكه نتايج انعكاس اطلاعاتي در مورد ارتفاع خوشه ها ارائه مي دهند. واژه‌هاي كليدي: نانوساختار، ليزر پالسي Nd:YAG ، سيليكون زبر، SEM

184030

دانشگاه علم و صنعت ايران

فيزيك - حالت جامد

دكتر محمدحسين مهديه