مطالعه ريزساختارهاي ناشي از تابش دهي سطح سيليكون با ليزر پالسي بلند

كارشناسي ارشد

در اثر تابشدهي هدف نيمه رسانا با ليزرهاي پالسي با شدت نسبتاً كم، ناصافيهايي در ابعاد ميكروني ايجاد مي شوند. در اين پايان نامه ساختارهاي زير ميكروني حاصل از تابش دهي هدف سيليكوني(نوعp) با استفاده از ليزر پالسي نانو ثانيه ، بطور تجربي مورد مطالعه قرار گرفته است. تابش دهي با استفاده از هارمونيك دوم ليزر Nd:YAG با طول موج nm 532 و طول پالس ns 9 و شاري در حدود چند Jcm -2 در محيط هوا صورت گرفته است. بررسي هاي كيفي با استفاده از ميكروسكوپ اپتيكي و ميكروسكوپ روبشي الكتروني(SEM) انجام شده است. نتايج بدست آمده نشان مي دهد ساختارهاي بوجود آمده در شار و تعداد پالس بخصوصي تشكيل مي شوند و تعداد پالس و شار ليزر در اندازه ساختارها تأثير مي گذارند. واژه هاي كليدي: ليزر Nd:YAG، سيليكون، ميكروساختار، ناصافي

182726

دانشگاه علم و صنعت ايران

فيزيك - اتمي مولكولي

دكتر محمد حسين مهديه