مطالعه مباني نظري سنسورهاي فشار نيمه هادي و ارائه طرح نمونه ساخت اين نوع سنسور

اصفهان : دانشگاه صنعتي اصفهان . دانشكده برق و كامپيوتر

كارشناسي ارشد (الكترونيك )

با توجه به نقش بسيار مهمي كه امروزه سنسورهاي نيمه هادي دقيق و پيشرفته در فعاليتهاي گوناگون علمي ، صنعتي ، پژوهشي ، تجاري و ... عهده دار مي باشند، در اين پايان نامه روند طراحي و ساخت يكي از پركاربردترين آنها، يعني سنسور فشار نيمه هادي، با استفاده از پيزو مقاومتهاي نفوذ داده شده ، مورد بررسي قرار گرفته و همچنين نظريه ها و روابط اساسي مربوطه بعنوان ابزار اصلي طراحي بيان مي گردند. مساله اصلي طراحي ، انتخاب مقدار بهينه براي نسبت طول به ضخامت ديافراگم سنسور بمنظور رسيدن به مشخصات مطلوب خطي بودن و حساسيت ، براي آن مي باشد. در ادامه نيز نحوه محاسبه و آرايش مقاومتهاي نفوذي، زدايش ديافراگم ، كنترل ضخامت آن و فرآيند عملياتي ساخت سنسور بهمراه ماسكهاي مورد نياز ارائه خواهند شد. در پايان نتايج شبيه سازي كامپيوتري معادلات رياضي حاكم بر رفتار سنسورهاي فشار نيمه هادي ارائه مي گردد.

10454

مهندسي برق و كامپيوتر

دانشگاه صنعتي اصفهان

ابوالقاسم زيدآبادينژاد